日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計系列產(chǎn)品，測量范圍含蓋普通大氣壓的低真空到高真空((101kPa～1×10-7Pa)廣泛的量測范圍，機種豐富，齊全。按各種用途，使用環(huán)境，分為數(shù)字式，模似式，可供用戶選擇。特別是皮拉尼真空計（PIRANA VACUUM GAUGE）采對敏感壓力傳感器器件，對于壓力變力環(huán)境亦有長壽命，高信賴性，以前的皮拉尼真空計不能正測量的情況現(xiàn)在也可以測量。133.3Pa～大氣壓的減壓領(lǐng)域的高精度壓力測量開始可以實現(xiàn)了。同時，數(shù)字顯示皮拉尼真空計的PVD-9500-7型真空計也實現(xiàn)了化時代的價格。佐藤真空為廣大用戶提供了各種的產(chǎn)品線，給廣大用戶更多的選擇。

日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計技術(shù)參數(shù)

PVD-9500-5型真空計 

操作簡單，真空控制方便，數(shù)字式真空計，具有如下特點：

真空壓力3點設(shè)定，可以適用于各種用途。

高信賴性的絕對壓真空計，采用擴散型半導(dǎo)體壓力傳感器，壓力變動劇烈的環(huán)境亦具有高信賴性，長壽命的特點。

*可選項：接線3M，6M，12M/面板安裝支架（PM9321） 

輸出線BNC接頭（PM9322）/電源3P-2P適配器（PM9324） 

半導(dǎo)體壓力傳感器的工作原理

結(jié)晶體受到機械外力影響后結(jié)晶結(jié)構(gòu)發(fā)生扭曲，壓阻效應(yīng)使晶體本身的電阻發(fā)生變化。擴散型半導(dǎo)體壓力傳感器是硅經(jīng)過薄化加工形成壓感薄膜（受壓部），形成擴散電阻。此薄膜受到壓力時，產(chǎn)生應(yīng)力，應(yīng)力的大小變化的同時，電阻隨之變化，就生電阻效應(yīng)。

用途

本真空計適用于各種品質(zhì)管理，真空干燥，真空含浸等用途。

PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31型真空計 

測壓部件以超薄金屬膜制成的薄膜（隔膜）型真空計，以電極間的靜電容量的變化來反應(yīng)真空壓力的一種真空壓力測量設(shè)備。零點的安定性高，測量范圍廣，腐食性氣體亦可使用。配備不同型號的測定子，可以做不同范圍的測量，按測量目的的不同可以選取不同型號的機型。 

*真空測壓口用部件選用1215PS（內(nèi)徑12.7φ）

特點

絕點精度
隔膜，薄膜真空計對單位面積的絕對壓力可以做到非常正確的測量。不受被測腔體內(nèi)的氣體種類的影響，可以做到0.5%的精度的絕對壓力測量，一般可以做為壓力標準器使用。

零點安定性
采用雙測量電極的電極構(gòu)造，內(nèi)部的電路，構(gòu)造等采用機械，熱力學的設(shè)計，減少了受周圍環(huán)境的影響。

再現(xiàn)性
隔膜，薄膜真空計的反復(fù)使用的測量結(jié)果的再現(xiàn)性可以達到1×10-4以上的精度。歸零，大壓氣的設(shè)定等測定范圍無不良影響。

真空測壓口用部件

KEYWORDS：佐藤真空， SATOVAC， 真空泵系列